Isolatieprestaties Aluminium keramische basis voor precisie meetapparatuur en industriële inspectie

Isolatieprestaties Aluminium keramische basis voor precisie meetapparatuur en industriële inspectie

Deze alumina-keramische dragerbasissen zijn vervaardigd met 99,6% hoogzuiver Al2O3-materiaal, speciaal ontworpen voor halfgeleider-, optische en precisie-meetapparatuur.met een oppervlakte van niet meer dan 50 mmMet een thermische uitbreidingscoëfficiënt van 7,2×10−6/°C behouden de producten een uitzonderlijke dimensionale stabiliteit bij extreme temperaturen (-60°C~1500°C) en vacuümomgevingen (≤10−8Pa).

Kerntoepassingsgebieden

• Halveringsapparatuur: Lithografie waferstadia, etseringsreactoren

• Precision Optics: Laserinterferometerreferentieplatforms, spiegel bevestigingen voor ruimtetelescopen

• Analyseinstrumenten: Elektronenmicroscoopproefstappen, massa-spectrometer-ionbronondersteuningen

• Industriële inspectie: CMM-machinebases, rondheidstester-toernooien

• Nieuwe energie: brandstofcelstapelondersteuners, dragers voor fotovoltaïsche coatingapparatuur

Matrix voor prestatievoordelen

Technische specificaties

Productieproces met hoge precisie

1. Verwerking van poeder: 0,1 μm hoogzuiver poeder met spraygranulatie

2. Vormingsproces: Isostatisch persen (300 MPa) gecombineerd met CNC groene bewerking

3. Sintertechnologie: Gradiëntsinteren bij 1700°C in waterstofatmosfeer

4. Bewerkingen met precisie:

   • met een gewicht van niet meer dan 10 kg

   • Magnetorheologisch polijsten (oppervlakte nauwkeurigheid λ/20@632,8 nm)

5. Verwerking in een schoonruimte: Montage voltooid in de schoonruimte van klasse 100

6. Volledige inspectie: Laserinterferometer + CMM volledige dimensie-inspectie

Installatierichtlijnen

• Installatievereisten:
  ✓ Gebruik een koppelknop (aanbevolen waarde 1,5 ± 0,2 N·m)
  ✓ Gebruik speciale gereedschappen voor de cleanroom
  ✓ Aanbevolen thermische matching voorinstelling (temperatuurgradiënt < 2°C/min)

• Omgevingsbeperkingen:
  Vermijd contact met fluorwaterstofzuur
  Vermijd thermische schokken > 200°C/min
  Niet geschikt voor continue oxidatieomgevingen > 1600°C

Dienstverbintenis

• Technische ondersteuning: Gratis FEA-stressanalyse

• Snelle reactie: 72 uur versnelde dienst

• Traceerbaarheid beheer: volledige productieverslagen van tien jaar

• Certificeringsondersteuning: verstrekte SEMI/FDA/ISO-certificeringsdocumenten

Veelgestelde vragen

V: Hoe kan de thermische matching met de onderdelen van siliciumcarbide worden gewaarborgd?
A: CTE-gradiëntovergang is beschikbaar (instelbaar 7,2-4,5×10−6/°C)

V: Maximale verwerkbare afmetingen?
A: Huidige technische limiet 500×500×100 mm (speciale gereedschappen vereist)

V: Wordt geleidende modificatie ondersteund?
A: Aanpasbare antistatische versies met oppervlakteweerstand 104-1010Ω

V: Hoe wordt de zuiverheid op waferniveau gegarandeerd?
A: Finale sterilisatie met VHP (verdampte waterstofperoxide)