Hoogtemperatuurbestendige keramische sproeiers voor 1200 °C-procestemperaturen in de LED-industrie

Hoogtemperatuurbestendige keramische sproeiers voor 1200 °C-procestemperaturen in de LED-industrie

Dit product is speciaal ontwikkeld voor LED-productieprocessen en wordt vervaardigd met behulp van 99,8% hoogzuivere siliciumnitride (Si3N4) door middel van precisie gasdruksintering.met een ultra-hoge zuiverheid, hoge temperatuurweerstand en corrosiebestendigheid om aan de strenge eisen van MOCVD-apparatuur te voldoen.

LED-productie toepassingen

• MOCVD-apparatuur: Precieze verdeling van MO-bron en NH3-gas

• Epitaxiale groei: gelijkmatige gasinjectie in reactiecamers

• Vervaardiging van chips: beschermende gasleveringssystemen

• Verpakkingsproces: atomisering met fosforspray

• Beproevingsapparatuur: optische controle van het gas

Voordelen van de LED-industrie

✓ Ultra-hoge zuiverheid: metaalionengehalte < 1 ppm
✓ Hoogtemperatuurbestendigheid: bestand tegen 1200°C procestemperaturen
✓ Geen gasverontreiniging: geen deeltjesemissies
✓ Precieze stroomregeling: ±1% stroomnauwkeurigheid
✓ Verlengde levensduur: Duurt 5000 thermische cycli

LED-specifieke parameters

Schoon productieproces

1. Voorbereiding van het materiaal:

   • Nanopoeder (D50≤0,3μm)

   • Stofvrije kogelmolen (klasse 10 cleanroom)

2. met een gewicht van niet meer dan 10 kg

   • Isostatisch persen (200MPa)

   • Ultra-schone sintering (omgeving van klasse 100)

3. Naverwerking:

   • Plasma-reiniging (oppervlakte-dekontaminatie)

   • Ultrasone waterreiniging

4. Verpakking:

   • Dubbele vacuümverpakking

   • Schoonzakken van ISO-klasse 4

Gebruiksrichtlijnen

️ Installatie: Class 100 cleanroom operatie vereist
️ Gasbeheersing: Gebruik 99,999% hoogzuivere gassen
️ Temperatuurbeheer: verwarmingssnelheid ≤ 5°C/min
️ Onderhoud: Heliumlekketest om de 500 uur

Gespecialiseerde diensten

• Verlengde garantie: 18 maanden

• Reinigheidstest: test van de uitstoot van vrije deeltjes

• Snelle reactie: technische ondersteuning gedurende 12 uur

• Procesoptimalisatie: simulatie van het gasstroomveld

Veelgestelde vragen

V: Hoe kan de zuiverheid van de leveringsbron van MO worden gewaarborgd?
A: Drievoudige waarborgen:
1 Passivatie van Si op het oppervlak
2 Schoon verpakking van klasse 100
3 Plasma-reiniging voorafgaand aan de installatie

V: Behandel je een verstopte spuit?
A: Aanbevolen:
• 200W ultrasone + DI waterreiniging
• Geen mechanische reiniging van staven
• Er is een professionele schoonmaakdienst beschikbaar

V: Compatibiliteit met verschillende epitaxiale lagen?
A: Aanpasbare opties:

• Structuren met meerdere gaten

• Graduele boorgrootteontwerpen

• Speciale hoekconfiguraties

•